又一重大突破！！ 4月29日，东方大国科学院上海光机所林楠研究员课题组成功研制

星辰大海看吧 2025-04-30 19:21:40

又一重大突破！！ 4月29日，东方大国科学院上海光机所林楠研究员课题组成功研制出LPP-EUV光源，攻克美国技术封锁。该EUV光源能量转换效率（CE）达到3.42%，离可以商用的光源只差0.8个百分点。EUV光源的波长为13.5nm，能够刻更小的沟道。据悉，这一成果对推动东方大国自主研发EUV光刻技术具有重要意义，研究成果已发表在《东方大国激光》杂志上。 林楠研究员团队经过4年的不懈努力，成功研制高亮度、低成本EUV光源，解决了这一系列关键问题，支持了“国家人工智能开放创新平台—高能效智能EUV光源”项目的实施。

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